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J-GLOBAL ID：200903012244701756

走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー及びその製造方法

Inventor： 戸田 明敏 ,  高山 美知雄
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992224013
Publication number (International publication number)：1994068791
Application date： Aug. 24, 1992
Publication date： Mar. 11, 1994
Summary：

【要約】【目的】本発明は、簡単に製造できて探針等の高さのコントロールも容易にでき、かつSTM像にも適用する。【構成】ガラス体(21)から延出されたレバー部(22)の自由端の先端に探針(23)を設けた。従って、レバー部(22)の少なくとも1層を導電性にすれば、AFM像だけでなく探針(23)と試料との間に流れる電流を捉えてSTM像が得られる。又、その製造方法は、シリコンウエハ(30)の表面上に窒化シリコン層(31)、又はボロン(51)と窒化シリコン層(52)を形成し、次にこれらをカンチレバーの形状に従ってパターニングする。次にレバー部となる層(31)に対してガラス体(35)を接合し、次にシリコンウエハ(30)に対してエッチング処理して探針(23)を形成する。

Claim (excerpt)：

ガラスにより形成される支持部と、この支持部から延出されて自由端を有し、シリコン又はシリコン化合物により少なくとも1層で形成されるレバー部と、このレバー部の自由端の先端に設けられたシリコンにより形成される探針とを有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー。

IPC (3)：

H01J 9/14 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28