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J-GLOBAL ID:200903012249281534

材料評価装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 伊藤 求馬
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995079635
Publication number (International publication number):1996248020
Application date: Mar. 10, 1995
Publication date: Sep. 27, 1996
Summary:
【要約】【目的】 固体物上の吸着種と反応ガス中の気相成分をリアルタイムで連続的に解析することにより正確な固体物の性能評価を行う。【構成】 評価用ガスを供給するガス供給手段1と、評価する固体物Sが収納され上記評価用ガスを導入して固体物Sと反応させる反応装置21を有し、上記固体物表面に吸着された吸着種を検出する吸着種検出手段2と、触媒と反応した後のガスを導入して気相成分を検出する気相成分検出手段3と、情報処理手段4と、情報表示手段5とを有し、吸着種の検出と反応ガス中の気相成分の検出をリアルタイムで連続的に行い、情報処理手段4で検出データを収集し、一括で情報処理を行い、反応メカニズム解析を高速で行う。
Claim (excerpt):
ガスを供給するガス供給手段と、固体物が収納され該固体物と反応するガスないしキャリヤガスを導入して固体物を反応させる反応装置を内蔵し、固体物に吸着された吸着種を検出する吸着種検出手段と、ガスを導入してその気相成分を検出する気相成分検出手段とを具備する材料評価装置。
IPC (2):
G01N 30/00 ,  G01N 31/10
FI (2):
G01N 30/00 J ,  G01N 31/10

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