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J-GLOBAL ID：200903012250986185
熱電変換デバイスの製造方法及び熱電変換デバイス
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
,
Agent (2)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003382843
Publication number (International publication number)：2005150247
Application date： Nov. 12, 2003
Publication date： Jun. 09, 2005
Summary：
【課題】 集成された複数の熱電対を、低コストで製作できる熱電変換デバイスの製造方法を提供する。【解決手段】 第1金属線31a〜38a及び第2金属線31b〜38bは、第1金属線31a〜38aと同形状をなす非透光性のマスクが形成されたガラス基板を用いることにより絶縁性シート12上に形成される。即ち、第1金属線31a〜38aを形成するためのガラス基板と、第2金属線31b〜38bを形成するためのガラス基板とを個別に用意する必要がなく、その分、ガラス基板を製作するコストを低減することができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基材と、
該基材上に第1金属体及び第2金属体が交互に複数個接続されて構成された熱電対群と、
を備えた熱電変換デバイスの製造方法であって、
前記基材上に前記第1金属体と同金属の第1金属膜を形成する第1金属膜形成工程と、
前記第1金属体の形状に対応したマスクが形成された透光部材を用いて、前記第1金属膜のうち前記第1金属体に対応した部位以外の部位を除去する第1リソグラフィ工程と、
前記第1金属体に対応する位置及び前記基材のうち前記第1金属体が形成されていない部位に対応する位置に前記第2金属体と同金属の第2金属膜を形成する第2金属膜形成工程と、
前記第1リソグラフィ工程を行った時の姿勢から180度回転させて配置した前記透光部材を用いて、前記第2金属膜のうち前記第2金属体に対応した部位以外の部位を除去する第2リソグラフィ工程と、
を備えたことを特徴とする熱電変換デバイスの製造方法。
IPC (5)：
H01L35/34
, G01K7/02
, H01L35/20
, H01L35/32
, H02N11/00
H01L35/34
, G01K7/02 A
, H01L35/20
, H01L35/32 A
, H02N11/00 A
Cited by applicant (1)
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熱電変換デバイス及びその製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2000-231991
Applicant：関西ティー・エル・オー株式会社
Cited by examiner (2)
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