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J-GLOBAL ID：200903012268480424
位置合わせ方法および装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
京谷 四郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994245010
Publication number (International publication number)：1996111599
Application date： Oct. 11, 1994
Publication date： Apr. 30, 1996
Summary：
【要約】【目的】 位置決め精度を低下させることなく高速な処理を行うことができる位置合わせ方法および装置を提供すること。【構成】 画像入力装置2により取り込まれた対象物1の対象画像は、画像メモリ3に格納される。候補点抽出手段4は画像メモリ3に格納された対象画像のXY方向の一次元投影分布から1ないし複数の候補点を抽出する。粗位置決め手段5は、抽出された1ないし複数の候補点と基準画像との濃淡パターンマッチングを行い、粗位置決めを行う。精密位置決め手段6は粗位置の近傍領域について、螺旋状に基準画像との濃淡パターンマッチングを行い精密位置決めを行う。
Claim (excerpt)：
位置合わせの対象となるマークが印された部材上の対象画像を取り込み、取り込んだ画像のXY方向の一次元投影分布から1ないし複数の位置合わせのための候補点を抽出し、抽出された上記1ないし複数の候補点に対し、基準画像との濃淡パターンマッチングを行って位置合わせのための粗位置を求め、上記粗位置近傍領域について、基準画像との濃淡パターンマッチングを行い精密位置合わせを行うことを特徴とする位置合わせ方法。
IPC (3)：
H05K 13/04
, G01B 11/00
, G06T 7/00
G06F 15/62 405 C
, G06F 15/70 330 P
