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J-GLOBAL ID：200903012309601533

多層膜光学部品およびその製造方法

Inventor： 藤村 秀彦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995083176
Publication number (International publication number)：1996254612
Application date： Mar. 15, 1995
Publication date： Oct. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】 TiO2 膜とMgF2 膜を用いて良質で安価な多層膜を製作する。【構成】 ガラス製の基板10上にTiO2 膜11とMgF2 膜12を交互に6層ずつそれぞれ酸素イオンをイオンアシストとするイオンアシスト蒸着法によって成膜して高反射膜を製作する。TiO2 膜11は、イオンアシスト蒸着法によって成膜すると内部応力が圧縮応力となり、MgF2 膜12の引張応力を相殺するため、高反射膜の内部歪みが大幅に低減されクラックの発生を回避できる。また、MgF2 膜12をイオンアシスト蒸着法によって成膜すると、フッ素脱離を抑え、パッキング密度を向上させ、波長シフトの少ない膜を形成することができる。

Claim (excerpt)：

基体の表面に交互に積層された複数対のTiO2 膜とMgF2 膜からなる多層膜を有し、各対の前記TiO2 膜の内部応力が圧縮応力であり、前記MgF2 膜の内部応力が引張応力であることを特徴とする多層膜光学部品。

IPC (4)：

G02B 5/28 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/48 ,  G02B 5/08

FI (4)：

G02B 5/28 ,  C23C 14/08 E ,  C23C 14/48 D ,  G02B 5/08 A