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J-GLOBAL ID：200903012339530460
保持リング、ターゲットおよびその製造のためのプロセス
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
深見 久郎 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000545173
Publication number (International publication number)：2002512424
Application date： Apr. 12, 1999
Publication date： Apr. 23, 2002
Summary：
【要約】製造を簡略化するため、ターゲットはターゲットプレート(1)とその上に載置される保持リング(2)からなり、支持装置(4)の収容オリフィスの中へバヨネット・ロックの態様で挿入することができる。その上面がターゲットプレート(1)の上面と同じ高さである保持リング(2)の内側にある下方に面した止め(8)は後者の反対の止め(7)と協働し、反対の止め(7)は簡単な態様で、たとえば回転によって周り全体に段を作ることによって作られる。ターゲットプレート(1)の下面は保持リング(2)の下面を越えて突出するため、金属箔(9)が圧力を加えられた冷却液の作用の下でその下面に対して押し付けられ、反対の止め(7)および止め(8)を介して、保持リング(2)の上方に面した締付けチーク(5)を支持装置(4)の保持突出部(6)に対して押し付ける。
Claim (excerpt)：
処理室の支持装置(4)におけるターゲットプレート(1)を締付けるための保持リング(2)であって、 外側において、径方向に外側へ突出し、その円周にわたって分布し、間隔で隔てられ、締付けチーク(5)を形成する複数の固着延長部(3)を含み、締付けチーク(5)は保持リング(2)の上面に面し、かつ支持装置(4)において前記保持リングを固着するためのものであり、さらに内側において、保持リング(2)の下面に面する止め(8)を有することを特徴とする、保持リング。
IPC (2)：
FI (2)：
H01J 37/34
, C23C 14/34 C
