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J-GLOBAL ID：200903012345439890

チタンまたはチタン化合物の薄膜形成装置

Inventor： 榎本 正幸 ,  小林 茂樹
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 井内 龍二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992345796
Publication number (International publication number)：1994196437
Application date： Dec. 25, 1992
Publication date： Jul. 15, 1994
Summary：

【要約】【構成】 プラズマによって試料を処理する反応容器10を備えたTiまたはTi化合物の薄膜形成装置において、反応容器10内の防着板21〜27にTi、Ti合金で形成されたものあるいはTi化合物が表面に溶射されたものを用いているTiまたはTi化合物の薄膜形成装置。【効果】 防着板21〜27がスパッタ作用を受けた場合、放出される元素が成膜物質と同一物質であるため、ウエハが重金属により汚染されることを防止することができる。また、防着板21〜27は塩化物等の腐食性ガスに対する耐食性を有するため、防着板21〜27はもとより反応容器10が反応ガスによって腐食されるのを抑制することができる。

Claim (excerpt)：

プラズマによって試料を処理する反応容器を備えたチタンまたはチタン化合物の薄膜形成装置において、前記反応容器内の構成部品としてチタン、チタン合金で形成された部品あるいはチタン化合物が表面に溶射された部品を用いていることを特徴とするチタンまたはチタン化合物の薄膜形成装置。

IPC (2)：

H01L 21/28 301 ,  H05H 1/46

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭58-151469
  
• 特開平3-166362
  
• 特開平2-270964