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J-GLOBAL ID：200903012357148859

感光性組成物

Inventor： 早瀬 修二 ,  中野 義彦 ,  御子神 ▲ゆき▼公
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992173183
Publication number (International publication number)：1993230380
Application date： Jun. 30, 1992
Publication date： Sep. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 断面形状が良好であり、且つ解像性の優れたポリシラン膜パターンを形成することが可能な感光性組成物を提供することを目的とする。【構成】 下記一般式(1)で表される反復単位を有するポリシランと、露光により酸を発生する化合物とを含有する。【化1】但し、R1 およびR2 は、夫々独立に水素原子、炭素数1〜18の置換もしくは非置換アルキル基、炭素数6〜18の置換もしくは非置換アリール基、または炭素数7〜22の置換もしくは非置換アラルキル基を表す。【効果】 DeepUV光、EB等による露光および現像処理を施すことによって、高感度を示し、微細なポリシラン膜パターンを形成することができる。また、ポリシランの側鎖に、水酸基、アルコキシル基、シロキシル基により置換された芳香環が導入されている場合、アルカリ現像処理を採用できる。

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)で表される反復単位を有するポリシランと、露光により酸を発生する化合物とを含有する感光性組成物。【化1】式中、R1 およびR2 は、夫々独立に水素原子、炭素数1〜18の置換もしくは非置換アルキル基、炭素数6〜18の置換もしくは非置換アリール基、または炭素数7〜22の置換もしくは非置換アラルキル基を表す。

IPC (6)：

C08L 83/16 LRM ,  C08K 5/00 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/039 501 ,  G03F 7/075 511

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭62-153852
  
• 特開昭62-153852
  
• 特開平2-296801
  
• 特開平2-296801