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J-GLOBAL ID：200903012362120393

静電チャック

Inventor： 梅津 基宏 ,  石井 守 ,  丹治 清一 ,  石田 弘徳 ,  和田 千春
Applicant, Patent owner： 太平洋セメント株式会社
Agent (1)： 高山 宏志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998362272
Publication number (International publication number)：2000183143
Application date： Dec. 21, 1998
Publication date： Jun. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】 エッチング処理等に使用する際に反りが生じず、かつ高い静電吸着力を得ることができ、大型化に対応可能な静電チャックを提供すること。【解決手段】 ウエハWの吸着面2aを有する絶縁層基板2の吸着面2aとは反対側の面に電極層3,3’を形成し、その電極層形成面を接着剤により支持基板5に接着して静電チャック1,1’を構成する。絶縁層基板2は、室温での体積抵抗率が108〜1013Ωcmであり、支持基板5は絶縁層基板2と実質的に同一材料からなり、絶縁層基板2と支持基板5との間に絶縁スペーサー6が介装されている。

Claim (excerpt)：

被吸着体の吸着面を有する絶縁層基板の吸着面とは反対側の面に電極層を形成し、その電極層形成面を接着剤により支持基板に接着した構造を有する静電チャックであって、前記絶縁層基板は、室温での体積抵抗率が108〜1013Ωcmであり、前記支持基板は前記絶縁層基板と実質的に同一材料からなり、前記絶縁層基板と前記支持基板との間に絶縁スペーサーが介装されていることを特徴とする静電チャック。

F-Term (8)：

5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA13 ,  5F031PA16