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J-GLOBAL ID：200903012371726938

位相差板

Inventor： 是永 継博 ,  内田 真司
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994265326
Publication number (International publication number)：1996122523
Application date： Oct. 28, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】 従来、斜め柱状構造膜を用いた位相差板にて大きな課題であった膜剥離を解決し、実用レベルの信頼性をもつ低コストな位相差板を提供する。【構成】 ニオブ酸リチウム基板11の両面に、斜め柱状構造を有する複屈折膜(Ta2O5膜)12を形成する。この場合、各面に形成する複屈折膜12の厚みは、片面に形成する場合の1/2とする。【効果】 上記構成によれば、片面での膜厚を薄くできるので、複屈折膜の内部応力を低減でき、基板と複屈折膜との付着の信頼性を向上できる。光学特性は、片面に一括して膜を形成した場合と同等である。

Claim (excerpt)：

所望の膜厚の斜め柱状構造の膜を、基板の対向する二面に、分割して形成したことを特徴とする位相差板。