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J-GLOBAL ID：200903012423999148

X線発生装置

Inventor： 神高 典明 ,  近藤 洋行
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996059644
Publication number (International publication number)：1997260094
Application date： Mar. 15, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】 プラズマから出射される不要な電磁波を阻止するフィルターの表面に付着した飛散粒子を除去することにより、或いは前記標的部材及び/またはプラズマから放出される飛散粒子を阻止するフィルターの表面に付着した飛散粒子を除去することにより、フィルターのX線透過率の低下を防止し、その結果、長時間安定して使用できるX線発生装置を提供すること。【解決手段】 減圧された真空容器V内の標的部材211に励起エネルギービーム201を照射してプラズマ202を形成し、該プラズマ202からX線203を取り出すX線発生装置において、使用するX線を透過させるとともに、プラズマ202から出射される不要な電磁波を阻止するフィルター231と、該フィルター231の表面に励起エネルギービーム221を照射して、該フィルター表面231の付着物を除去する機構と、を設けたことを特徴とするX線発生装置。

Claim (excerpt)：

減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成し、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置において、使用するX線を透過させるとともに、プラズマから出射される不要な電磁波を阻止するフィルターと、該フィルターの表面に励起エネルギービームを照射して、該フィルター表面の付着物を除去する機構と、を設けたことを特徴とするX線発生装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• X線発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-174601   Applicant：株式会社ニコン
• 容器の窓の清浄方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-258967   Applicant：三菱マテリアル株式会社
• X線発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-109872   Applicant：株式会社ニコン