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J-GLOBAL ID：200903012424588249
半導体製造装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石戸 元
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994149712
Publication number (International publication number)：1996017892
Application date： Jun. 30, 1994
Publication date： Jan. 19, 1996
Summary：
【要約】【目的】 フロントシャッタに人の手等が挟み込まれる危険性がなく、安全で安価であり、仕様変更によって部品を変える必要がない装置を提供する。【構成】 ウェーハカセットを出し入れする際に使用する開口のフロントシャッタ3に、該フロントシャッタ3への挟み込み防止に供するマイクロスイッチ7を取付け、このマイクロスイッチ7を作動させる接触板5を前記フロントシャッタ3に板バネ6で固定してなる。
Claim (excerpt)：
ウェーハカセットを出し入れする際に使用する開口のフロントシャッタに、該フロントシャッタへの挟み込み防止に供するマイクロスイッチを取付け、このマイクロスイッチを作動させる接触板を前記フロントシャッタに板バネで固定してなることを特徴とする半導体製造装置。
IPC (2)：
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