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J-GLOBAL ID：200903012429758398

カンチレバー状変位素子

Inventor： 河出 一佐哲 ,  瀧本 清 ,  貴志 悦朗 ,  矢野 亨治
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993089478
Publication number (International publication number)：1994281443
Application date： Mar. 25, 1993
Publication date： Oct. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】 トンネル電流検出装置や走査型トンネル顕微鏡等に用いられ、2軸駆動可能な静電駆動型変位素子を提供する。【構成】 互いに平行でない2面に静電駆動用電極4が設けられているカンチレバー2と、該カンチレバー2を支持し互いに平行でない2面に静電駆動用電極4に対向して対向電極2が設けられている基板1とで基本的構成を成すカンチレバー状変位素子。

Claim (excerpt)：

カンチレバーに設けられた静電駆動用電極と該静電駆動用電極に対向して上記カンチレバーを支持する基板上に設けられた対向電極との間に働く静電気力によって駆動するカンチレバー状変位素子において、上記静電駆動用電極及び上記対向電極が互いに平行でない複数の面上に設けられていることを特徴とするカンチレバー状変位素子。