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J-GLOBAL ID:200903012439371505
電気化学的近接場顕微鏡測定およびトポグラフ的近接場顕微鏡測定を同時に行うためのデバイス
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
青山 葆 (外3名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2002502381
Publication number (International publication number):2003536059
Application date: Jun. 11, 2001
Publication date: Dec. 02, 2003
Summary:
【要約】この発明は、電気化学的近接場顕微鏡測定およびトポグラフ的近接場顕微鏡測定を同時に実施するためのデバイスに関する。このデバイスは、トポグラフ的近接場測定用領域および電気化学的近接場測定領域を有しており、トポグラフ的近接場測定用領域はアレンジメントの隣接チップまで十分に延びており、電気化学的近接場測定領域は隣接チップから規定された距離から始まることを特徴とする。
Claim (excerpt):
電気化学的近接場測定用領域およびトポグラフ的近接場測定用領域を有し、トポグラフ的近接場測定用領域はアレンジメントの隣接チップまで十分に延びている、電気化学的近接場顕微鏡測定およびトポグラフ的近接場顕微鏡測定を同時に行うデバイスであって、電気化学的近接場測定用領域は隣接チップから規定された距離から始まり、トポグラフ的近接場測定用領域は隣接チップを除いて導電性材料によって被覆され、導電性材料は電気化学的近接場測定用領域を除いて絶縁材料によって被覆されていることを特徴とするデバイス。
IPC (5):
G01N 13/24
, G01N 13/14
, G01N 27/30
, G01N 27/327
, G12B 21/02
FI (6):
G01N 13/24 A
, G01N 13/14 A
, G01N 27/30 B
, G01N 27/30 F
, G12B 1/00 601 A
, G01N 27/30 353 Z
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