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J-GLOBAL ID：200903012454169470

位置決め装置及び位置決め方法

Inventor： 柳原 政光 ,  中村 修 ,  奈良 圭
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 田辺 恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994336345
Publication number (International publication number)：1996181062
Application date： Dec. 22, 1994
Publication date： Jul. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は、位置決め装置及び位置決め方法について、一段と迅速かつ高精度に感光基板又はマスクを位置決めする。【構成】アライメント用のマークの位置を検出光学系による撮像領域内に移動させて検出光学系を介して撮像し、該撮像によつて得られる画像情報を処理することによつてマークの位置を検出し、該検出結果に基づいて感光基板又はマスクと検出光学系の光軸とを該光軸と直交する方向に相対的に移動させてマークを検出光学系の光軸近傍の位置まで移動させる。その後再度マークの位置を検出する。これにより、画像の歪みの影響によるマークの検出位置の誤差が少ない高精度な位置決め装置及び位置決め方法を実現し得る。

Claim (excerpt)：

マスク又は感光基板上のアライメントマークを検出することにより前記マスク又は感光基板を予め設定された基準に対して位置決めする位置決め装置において、前記感光基板又はマスクはアライメント用のマークを備えており、該マークを検出光学系を介して撮像し、該撮像によつて得られる情報を処理することによつて前記マークの位置を検出する位置検出手段と、該検出したマークを前記検出光学系による撮像領域内に移動して前記マークの位置を検出した後、該検出結果に基づいて前記感光基板又はマスクと前記検出光学系の光軸とを該光軸と直交する方向に相対的に移動させることにより、前記検出したマークを前記検出光学系の光軸近傍の位置まで移動させる駆動手段とを具え、前記相対移動後、再度前記マークの位置を検出することを特徴とする位置決め装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/08 ,  G03F 9/00 ,  G03F 9/02

FI (3)：

H01L 21/30 525 C ,  H01L 21/30 520 A ,  H01L 21/30 525 X