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J-GLOBAL ID：200903012454869595

マイクロマシンおよびその製造方法

Inventor： 木下 隆
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003104966
Publication number (International publication number)：2004306217
Application date： Apr. 09, 2003
Publication date： Nov. 04, 2004
Summary：

【課題】より大きな動作範囲で動作する駆動部を有するマイクロマシンをサーフェス・マイクロマシニング技術によって製造する方法を提供する。【解決手段】基板3の表面層に凹部3aを形成し、この凹部3aを埋め込む犠牲層105をパターン形成する。この犠牲層105を覆う状態で、絶縁性の第1材料膜107とこれよりも熱膨張係数の大きな導電性の第2材料膜109とをこの順に成膜する。一端が基板3に固定され他端が犠牲層105を介して凹部3a上に配置される帯状に第1材料膜107と第2材料膜109とをパターニングして駆動電極7を形成する。駆動電極7に対して選択的に犠牲層105を除去することで基板3と駆動電極7との間に第1空間部A1を形成する。第1材料膜107及び第2材料膜109を加熱することによって駆動電極7を湾曲させ、駆動電極7の他端を凹部3a内に自己整合的に挿入させる。【選択図】 図3

Claim (excerpt)：

凹部が形成された基板と、 一端が前記基板に固定され他端が前記凹部内に挿入保持されると共に、中央の駆動部分が当該基板との間に空間部を介して設けられた薄膜状の駆動電極とを備えた ことを特徴とするマイクロマシン。

IPC (4)：

B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  F04B43/04 ,  G02B26/08

FI (4)：

B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  F04B43/04 B ,  G02B26/08 E

F-Term (17)：

2H041AA12 ,  2H041AA14 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  3H077AA01 ,  3H077BB10 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077DD06 ,  3H077EE34 ,  3H077FF07 ,  3H077FF08 ,  3H077FF09 ,  3H077FF10 ,  3H077FF14 ,  3H077FF36