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J-GLOBAL ID：200903012463515810

半導体レーザ多重反射吸収分光によるガス分析方法及び装置

Inventor： 呉 尚謙
Applicant, Patent owner： 日本酸素株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999313089
Publication number (International publication number)：2001133403
Application date： Nov. 02, 1999
Publication date： May. 18, 2001
Summary：

【要約】【課題】 光干渉ノイズを低減して、高感度の性能を有する半導体レーザ多重反射吸収分光によるガスの分析方法と分析装置の提供。【解決手段】 半導体レーザ光によるガスの多重反射吸収分光分析で、第1のレーザ光B1が投射される多重反射サンプルセル7の反射鏡M1ーM2、M3の配置間距離L(cm)を、多重反射サンプルセル7を通過した吸収ビームB1Aの吸収スペクトルのS/N比が最大になる最適条件での2次微分吸収スペクトルの線幅W0と関係して、L・W0>2.5の式に従って配置して光干渉ノイズを低減し、更に投射レーザ光の一部を分割して第2の半導体レーザ光B2として、これの2次微分スペクトルを採取して、これを多重反射サンプルセル7を通過した吸収ビームB1Aの2次微分吸収スペクトルから差し引き、多重反射サンプルセル7への光源ノイズを低減せしめた分光分析方法と、該方法を実施する機構を備えた分光分析装置。

Claim (excerpt)：

半導体レーザ光を使用した多重反射式分光分析方法を用いたガスの吸収分光分析方法において、多重反射サンプルセル内のガス圧力及び半導体レーザ発振の変調振幅MAの最適値を調整した後、該最適値条件で2次微分吸収スペクトルを測定して得られる線幅WO(cm-1)及び多重反射サンプルセルに配設する反射鏡間距離L(cm)との関係が、L・WO > 2.5の式を満足している状態にして、吸収分光分析することを特徴とする半導体レーザ多重反射吸収分光によるガス分析方法。

F-Term (13)：

2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC20 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059FF08 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059JJ22 ,  2G059LL03 ,  2G059MM03 ,  2G059MM09