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J-GLOBAL ID：200903012472244918
質量分析装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高矢 諭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992124899
Publication number (International publication number)：1993325881
Application date： May. 18, 1992
Publication date： Dec. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】 質量分析時に生成するイオンに、生成源として複数の成分ガスが存在し、少なくとも1成分が熱解離し易い場合でも、特定成分を正確に測定できる。【構成】 電子衝撃型イオン源を有する質量分析装置において、上記電子衝撃型イオン源に、熱電子発生手段としてのフィラメント32に近接する位置で、該フィラメントから放出される熱電子の加速方向に、該熱電子を通過させるためのスリット34Aを有する遮蔽板34を配設し、且つフィラメント32の長さをスリット34Aの幅と同程度とし、しかも低仕事関数のTa で形成する。Cl 2 ガスの熱解離を起すことなく、フィラメント32からの熱電子をスリット34Aに通過させることにより、エネルギ分布幅の狭い電子ビームを生成することができるため、該電子ビームによりプラズマ中のCl ラジカルを選択的にイオン化することができる。
Claim (excerpt)：
電子衝撃型イオン源が、試料をイオン化するための電子を放出する熱電子放出用フィラメントを有する質量分析装置において、前記熱電子放出用フィラメント近傍の電子放出方向に電子通過用スリットを有する遮蔽板が配設され、前記熱電子放出用フィラメントが電子通過用スリットの幅と同程度の長さで形成されていることを特徴とする質量分析装置。
IPC (2)：
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