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J-GLOBAL ID：200903012489695190

回路パターンの欠陥検査装置および欠陥検査方法

Inventor： 石丸 和史 ,  中井 康博 ,  池谷 秀一 ,  吉村 郁夫 ,  徳田 義憲
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Agent (2)： 廣幸 正樹 ,  加藤 敬子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008018327
Publication number (International publication number)：2009036747
Application date： Jan. 29, 2008
Publication date： Feb. 19, 2009
Summary：

【課題】回路パターンの欠陥検査方法では、処理速度を高めるため、お手本となる基準パターンと被検査物は単純な比較による差異で良不良を判断していた。また、回路パターンは製品の動作に直接関係するため、できるだけ細かな差異を欠陥として判定させていた。しかし、細かな差異は過検出となり、別途目視での再検査が必要となる。【解決手段】単純な比較による検査で不良と判定された被検査物の欠陥部分の画像を、欠陥の種類毎の分析によって、そもそも欠陥であるか否かと、欠陥であったとしても容認できるか否かを判定する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

回路パターンを画像データに変換する画像撮影部と、 前記回路パターンの基準となる基準画像データを記憶する基準パターン記憶部と、 前記画像データを前記基準画像データと比較し、 異なる部分を欠陥候補として所定の欠陥種類に分類し、 前記欠陥候補の画像を前記画像データから切り出した部分画像と前記欠陥種類を出力する欠陥候補抽出部と、 前記部分画像と前記欠陥種類を記録する記憶部と、 前記部分画像と前記欠陥種類を前記記憶部から読み出し、 前記欠陥種類に応じて前記部分画像を分析し、 前記部分画像に対する容認度を判断する欠陥分析部を有する欠陥検査装置。

IPC (4)：

G01N 21/956 ,  G01N 21/88 ,  G06T 1/00 ,  H01L 21/66

FI (4)：

G01N21/956 B ,  G01N21/88 J ,  G06T1/00 305A ,  H01L21/66 S

F-Term (32)：

2G051AA51 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051EA11 ,  2G051EC01 ,  2G051ED04 ,  2G051ED11 ,  4M106AA02 ,  4M106AA09 ,  4M106CA15 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC02 ,  5B057DC33

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特公昭59-024361号公報
  
• 特許第03400797号公報