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J-GLOBAL ID：200903012502085690

ピンホールおよびピンホールを備えた干渉計

Inventor： 村上 勝彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998267924
Publication number (International publication number)：2000097614
Application date： Sep. 22, 1998
Publication date： Apr. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】アスペクト比が10以上である直径1μm以下の寸法の光通過穴を容易にかつ低コストで作成でき、耐久性を高めたピンホールを提供する。【解決手段】アルミニウム製の基板30の中央部に陽極酸化部35を形成する。陽極酸化部35は多孔質状に形成され、複数の穴36が自発的に形成されている。複数の穴36が貫通するように陽極酸化部35の裏面から基板30を切削して薄板部31を形成する。これにより、複数の光通過穴33が形成された陽極酸化膜32が形成される。陽極酸化膜32の領域とほぼ等しい径の光を陽極酸化膜32の部分に入射すると、複数の光通過穴33を通過した複数の光束があたかも微小の穴を通過した光のごとく射出する。干渉計のピンホールに使用された場合には球面波が射出される。

Claim (excerpt)：

基板に入射する光を光通過穴から射出させるピンホールにおいて、前記基板の少なくとも一部分を陽極酸化させ、そこに自発的に形成された複数の穴を貫通させて前記光通過穴を形成したことを特徴とするピンホール。

F-Term (9)：

2F064AA09 ,  2F064BB03 ,  2F064CC10 ,  2F064FF01 ,  2F064FF10 ,  2F064GG20 ,  2F064GG44 ,  2F064HH08 ,  2F064KK04