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J-GLOBAL ID：200903012515326913

メタクリル基含有ビス(4’-フタル酸無水物)シロキサン誘導体及びその製造方法

Inventor： 沖之島 弘茂 ,  加藤 英人 ,  秋葉 秀樹
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小島 隆司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992035667
Publication number (International publication number)：1993202070
Application date： Jan. 27, 1992
Publication date： Aug. 10, 1993
Summary：

【要約】【構成】 下記一般式(1)で表されるメタクリル基含有ビス(4’-フタル酸無水物)シロキサン誘導体。【化1】(但し、式中R1、R2及びR3は各々互いに同一又は異種の炭素数1〜10の1価炭化水素基を示し、nは1〜20の整数である。)【効果】 シロキサン鎖の両末端にフタル酸無水物が結合し、シロキサン鎖の側鎖にメタクリル基を有する上記シロキサン誘導体は感光性を有するポリイミド樹脂の原料等として有用である。

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)で表されるメタクリル基含有ビス(4’-フタル酸無水物)シロキサン誘導体。【化1】(但し、式中R1、R2及びR3は各々互いに同一又は異種の炭素数1〜10の1価炭化水素基を示し、nは1〜20の整数である。)

IPC (7)：

C07F 7/08 ,  C08G 73/10 NTF ,  G02F 1/1337 525 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/038 504 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/027