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J-GLOBAL ID：200903012524587843

基板処理装置

Inventor： 橋本 勝己
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 五十嵐 孝雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996085906
Publication number (International publication number)：1996321482
Application date： Feb. 18, 1992
Publication date： Dec. 03, 1996
Summary：

【要約】【課題】 処理液が不足すると判定されたときの作業性の向上と不良ロットの発生を防止する。【解決手段】 残量センサ115a〜115cは、処理液貯留容器の重量から処理液の残量を検知し、その残量が所定値以下となるとオン信号を、所定値以下とならない場合にはオフ信号を出力する。その所定値は、処理液の残量が、既に基板授受ユニット2からプロセス処理ユニット3の熱処理機器33〜35などへ送られてしまっている全ての基板を処理可能な余裕がある量とする。メインコントローラは、残量センサからオン信号が検知されると警報を発令するが、そのとき基板授受ユニットからの送出を停止し、熱処理機器の動作はそのまま継続する。そして、熱処理機器に既に送られている基板すべての処理が終了した時点で装置を停止させる。このため、処理途中の基板が発生するようなことがない。

Claim (excerpt)：

基板に処理液を供給して基板処理を行なう基板処理機器を含む複数の基板処理機器からなる基板処理部と、該基板処理部に対して供給する処理液を収容する処理液収容部と、前記処理液収容部に収容された処理液を処理液収容部から基板処理部に対して供給する処理液供給手段とを備える基板処理装置であって、処理液収容部内の処理液の量を検出する処理液量検出手段と、前記処理液量検出手段の検出結果から処理液収容部内の処理液が、少なくとも、前記基板処理部に供給された全ての基板を処理可能なだけの余裕を残して、不足していることを検知する不足検知手段と、前記不足検知手段で処理液収容部内の処理液が前記余裕を残して不足していることが検知されたとき、異常である旨の決定を行なう異常決定手段と、前記異常決定手段で異常の決定がなされたとき、前記基板処理部に残存する全ての基板に対して基板処理が終了するのを待って、前記基板処理部による基板処理を停止させる停止手段とを備える基板処理装置。

IPC (3)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/027

FI (4)：

H01L 21/304 341 S ,  H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/30 569 F