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J-GLOBAL ID：200903012541116960

真空吸着装置

Inventor： 佐藤 伸也 ,  小倉 知之 ,  梅木 亜希子 ,  塩貝 達也
Applicant, Patent owner： 太平洋セメント株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004071840
Publication number (International publication number)：2005254412
Application date： Mar. 15, 2004
Publication date： Sep. 22, 2005
Summary：

【課題】 真空吸着装置の載置部と支持部との接合部の段差および隙間を無くし、ウエハの平坦加工精度を大幅に向上させることを目的とする。【解決手段】 開気孔を備えた多孔質組織を有し、その表面で被処理物を吸着保持する載置部と、前記載置部を支持し、前記載置部が有する開気孔と連通する吸気孔を備えた支持部とを、具備する真空吸着装置であって、前記載置部と前記支持部とは、実質的に隙間なく直接に接合されており、かつ、前記載置部上縁には支持部側に鍔状に張り出した薄肉部が形成されていることを特徴とする真空吸着装置。【選択図】 図3

Claim (excerpt)：

開気孔を備えた多孔質組織を有し、その表面で被処理物を吸着保持する載置部と、前記載置部を支持し、前記載置部が有する開気孔と連通する吸気孔を備えた支持部とを、具備する真空吸着装置であって、前記載置部と前記支持部とは、実質的に隙間なく直接に接合されており、かつ、前記載置部上縁には支持部側に鍔状に張り出した薄肉部が形成されていることを特徴とする真空吸着装置。

IPC (3)：

B25J15/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/68

FI (4)：

B25J15/06 G ,  B65G49/07 G ,  H01L21/68 B ,  H01L21/68 P

F-Term (10)：

3C007FS01 ,  3C007FT10 ,  3C007NS12 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031HA02 ,  5F031HA14

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特開昭53-090871号公報
  
• 特開昭61-182738号公報