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J-GLOBAL ID：200903012585976028

角速度センサ

Inventor： 長谷川 友保 ,  田中 克彦 ,  持田 洋一 ,  森屋 和文 ,  厚地 健一
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 五十嵐 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993204568
Publication number (International publication number)：1995043166
Application date： Jul. 27, 1993
Publication date： Feb. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 レーザや紫外線照射等のトリミング加工を必要とせず、検出感度が良好で、かつ、極めて小型の角速度センサを提供する。【構成】 シリコン基板1に両端固定の振動梁10を形成する。この振動梁10の梁端固定の一方側の付け根領域18に空隙3を設ける。この空隙3の幅を振動梁10の振動方向と直交する方向に可変調整する空隙幅調整手段20を付け根領域18に設ける。この空隙幅を調整することで、振動梁10の共振周波数に調整する。これにより、センサ間にばらつきを生ずることなく高感度、かつ、高精度の角速度検出が可能となる。

Claim (excerpt)：

振動梁の振動方向とセンサ回転軸方向に直交する方向にコリオリ力を発生させ、このコリオリ力の大きさに基づいて角速度を検出する角速度センサであって、基板に両端固定の振動梁が形成され、この振動梁の両端固定の付け根領域の少なくとも一方側に空隙が設けられるとともに、前記振動梁の振動方向と直交する方向の前記空隙の幅を可変調整する空隙幅調整手段が設けられている角速度センサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04