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J-GLOBAL ID：200903012587511308

耐摩耗性導電薄膜および耐摩耗性部材

Inventor： 中釜 詳治 ,  岡本 暁 ,  田中 素之 ,  中山 明 ,  吉岡 剛
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993076662
Publication number (International publication number)：1994287741
Application date： Apr. 02, 1993
Publication date： Oct. 11, 1994
Summary：

【要約】【目的】 セラミックスおよびガラス等の金属以外の材料からなる基材上に密着性よく設けられ、かつ耐摩耗性に優れたCr-N系導電薄膜を提供することである。【構成】 本発明に係る耐摩耗性導電薄膜は、セラミックスおよびガラスの少なくともいずれかからなる基材の表面をコーティングして耐摩耗性を付与するための導電薄膜であって、X線回折において(200)のピーク強度に対する(111)のピーク強度の比 I(111)/I(200)が0.5以上4.0以下となる結晶配向性を示すCrNからなる層から構成される。

Claim (excerpt)：

セラミックスおよびガラスの少なくともいずれかからなる基材の表面をコーティングして耐摩耗性を付与するための導電薄膜であって、X線回折において(200)のピーク強度に対する(111)のピーク強度の比 I(111)/I(200)が0.5以上4.0以下となる結晶配向性を示すCrNからなる層を備える、耐摩耗性導電薄膜。

IPC (2)：

C23C 14/06 ,  C23C 14/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 書込可能型光デイスク装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-321002   Applicant：ソニー株式会社
• 光記録デイスクの記録再生方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-299905   Applicant：テイーデイーケイ株式会社