Pat
J-GLOBAL ID：200903012595606644
位置決め方法および装置ならびにそれを用いた投影露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994316019
Publication number (International publication number)：1996153670
Application date： Nov. 28, 1994
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 平面内で直交座標軸X,Yに沿った移動と平面に垂直な軸周りの回転が可能な移動ステージ高精度の位置決め方法とこれを用いた投影露光装置を提供する。【構成】 X測長器2、Y測長器3及び3からX方向にLr離れたθ測長器4(回転角θを測るための第2のY測長器)を備えたステージ装置上に、第1と第2の基準マーク5,6を備えた移動ステージ1がある。移動ステージ1の一辺がX軸に平行なときθ=0とすると、マーク検出手段7により二つの基準マークを検出したときのX測長器、Y測長器、及びθ測長器の各測長値から簡単な計算で、θ=0の基準状態における二つの基準マークのX及びY方向の間隔、及びY測長器とθ測長器のX方向の間隔Lrを正確に求めることができる。これらのパラメータを使って移動ステージの位置決めを正確に行えるので、投影露光装置のマスクやウエハの移動ステージに利用できる。
Claim (excerpt)：
同一の平面内でX,Y,θ方向に駆動可能で、かつ所定の位置関係で配置された第1および第2のマークを有する移動ステージと、該移動ステージのX方向の移動量を計測可能なX測長手段と、前記移動ステージのY方向の移動量をそれぞれ計測可能で、かつ互いに平行な計測軸を有する第1および第2のY測長手段と、前記移動ステージ上の前記第1のマークと前記第2のマークを検出可能で、前記移動ステージとは独立して配置された検出手段とを備えたステージ装置において前記移動ステージをX,Y,θ方向に高精度に位置決めする方法であって、前記移動ステージのθ方向に任意の移動量を与え、その移動量を保持したまま前記移動ステージを移動して前記第1のマークと前記第2のマークをそれぞれ前記検出手段の検出中心で検出するステップと、前記第1および第2のマークの位置関係とそれらの各マークを検出した時の前記X測長手段、前記第1のY測長手段および第2のY測長手段の少なくとも1つの計測値より前記移動ステージのθ方向の実際の移動量を算出するステップと、この算出された移動量と前記第1および第2のY測長手段のそれぞれの計測値より前記第1および第2のY測長手段の計測軸の間隔を算出し記憶するステップとを具備し、該算出した軸間隔を記憶した後はその軸間隔と前記第1および第2のY測長手段による計測値とに基づいて前記移動ステージのθ方向の移動量を高精度に算出することを特徴とする位置決め方法。
IPC (5)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
, G05D 3/12
, H01L 21/68
H01L 21/30 515 G
, H01L 21/30 516 B
