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J-GLOBAL ID：200903012609388211

表面加工方法

Inventor： 竹中 みゆき ,  鈴木 功 ,  福田 正幸 ,  松本 明治 ,  林 勝 ,  橋本 政弘 ,  高松 浩司 ,  吉田 孝 ,  松永 秀樹
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 三好 秀和 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993237178
Publication number (International publication number)：1995001302
Application date： Aug. 31, 1993
Publication date： Jan. 06, 1995
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、不純物汚染を最小限にすることのできる表面加工方法を提供することを目的とする。【構成】 本発明の表面加工方法は、被加工物表面に平滑化処理を施し、表面粗さを±0.5μmP-V以下、金属不純物溶出を0.5ng以下とすることを要旨とする。

Claim (excerpt)：

被加工物表面に平滑化処理を施し、表面粗さを±0.5μmP-V以下、金属不純物溶出を0.5ng以下とすることを特徴とする表面加工方法。

IPC (5)：

B24B 1/00 ,  B24B 31/00 ,  B29C 71/00 ,  B29K 27:12 ,  B29L 24:00