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J-GLOBAL ID：200903012713747371

混合気体の測定方法および測定装置

Inventor： 野中 秀彦 ,  黒河 明 ,  西口 哲也
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  株式会社明電舎
Agent (1)： 志賀 富士弥 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001030589
Publication number (International publication number)：2002236083
Application date： Feb. 07, 2001
Publication date： Aug. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】 混合気体の混合比をイオン化法で測定するのでは、生成した気体分子のイオンの数と該気体分子数が一致しないことがあり、測定精度が劣る。【解決手段】 ヘリウムガスを導入した容器1内に混合気体を導入し、容器内に導入された混合気体を冷凍機3とターゲット2で冷却して凝縮させ、凝縮した液体または固体を昇温用ヒータ4で徐々に昇温させて各気体を個別に気化させ、圧力計で容器内の圧力を測定し、容器の体積を比例定数とし、各気体が個別に気化したときの容器内の圧力変化分の積によって各々の気体の絶対量を求め、各絶対量の比から混合比を求める。容器内の排気速度を比例定数とし、各気体が個別に気化し始めたときから気化終了までの時間におけるた容器内の圧力変化の積分によって各々の気体の絶対量を求め、各絶対量の比から混合比を求めることも含む。

Claim (excerpt)：

蒸気圧特性が互いに異なる気体が混合した混合気体の各気体の絶対量を測定する方法であって、予め真空に排気された容器または不活性ガスを導入した容器内に前記混合気体を導入し、容器内に導入された混合気体を冷却して凝縮させ、凝縮した液体または固体を徐々に昇温させて各気体を個別に気化させ、容器の体積を比例定数とし、各気体が個別に気化したときの容器内の圧力変化分の積によって各々の気体の絶対量を求めることを特徴とする混合気体の測定方法。