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J-GLOBAL ID：200903012715399494
光熱変位計測による試料評価方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992090816
Publication number (International publication number)：1993288698
Application date： Apr. 10, 1992
Publication date： Nov. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】 試料の温度変化,プラズマ密度の変化等による試料の反射率の変化といった外乱の影響を受けず,真の熱膨張振動を計測できる光熱変位計測による試料評価装置。【構成】 半導体レーザ6により試料3に励起光を照射すると共に,He-Neレーザ1により試料3に照射される測定用の放射光の試料3での反射光(ビーム1)と放射光(ビーム2)との干渉光を光検出器4により検出する。この時,ビーム1とビーム2との間で周期差Fbを与えることにより検出データを周期差Fbに対応するビート波Eとする。発振器10,シフタ9,11によりビート波Eと同位相の正弦波Rと,正弦波Rに対して90°位相の異なる正弦波R0とを発生させ,これらの信号を乗算器9,11によりそれぞれビート波Eに乗じた値の比Sを除算器15により求める。この比Sに基づいて試料の熱膨張振動を計測するように構成されている。上記構成により外乱の影響を受けず,真の熱膨張振動を計測できる。その結果,高精度で試料評価を行うことができる。
Claim (excerpt)：
試料に励起光を照射すると共に,上記試料に照射される測定用の放射光の該試料での反射光と該放射光との干渉光を検出し,上記干渉光の検出データに基づいて上記試料の熱膨張振動を計測する光熱変位計測による試料評価方法において,上記放射光と反射光との間で所定の周期差を与えて上記検出データを該周期差に対応するビート波となし,上記ビート波に対して所定の位相をなす正弦波と該正弦波に対して90°位相の異なる正弦波とを上記ビート波にそれぞれ乗じた値の比に基づいて上記試料の熱膨張振動を計測することを特徴とする光熱変位計測による試料評価方法。
IPC (2)：
G01N 25/16
, G01N 29/00 501
