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J-GLOBAL ID：200903012724931492

液晶表示素子製造装置および方法

Inventor： 江上 典彦
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 石原 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999121236
Publication number (International publication number)：2000310759
Application date： Apr. 28, 1999
Publication date： Nov. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】 対向する位置に配置された2枚の基板を破損することなく精度良く貼り合わせることができる液晶表示素子製造装置を提供する。【解決手段】 上面に接着剤1が塗布され液晶材料2が滴下された下基板3を大気雰囲気中にて真空容器C内に配置して下側の全面を真空吸着で固定し、下基板3に対向するように所定の間隔で上基板6を配置して上側の全面を真空吸着して固定し、真空雰囲気中にて両方又は一方の基板3、6を接近移動させて相互に加圧し、両基板3、6を貼り合わせるようにした液晶表示素子製造装置において、上基板6の上側全面を真空吸着する吸着機構7に複数の吸着系統7a、7bを設けて、大気中で上基板6を吸着固定する時の吸着力を抑制し、上基板6の破損を防止するようにした。

Claim (excerpt)：

上面に接着剤が塗布され液晶材料が滴下された下基板を大気雰囲気中にて真空容器内に配置して下側の全面を真空吸着で固定し、下基板に対向するように所定の間隔で上基板を配置して上側の全面を真空吸着して固定し、真空雰囲気中にて両方又は一方の基板を接近移動させて相互に加圧し、両基板を貼り合わせるようにした液晶表示素子製造装置において、上基板の上側全面を真空吸着する吸着機構に複数の吸着系統を設けたことを特徴とする液晶表示素子製造装置。

IPC (5)：

G02F 1/13 101 ,  B05C 13/02 ,  B05D 3/06 102 ,  B05D 7/24 301 ,  H01L 21/68

FI (5)：

G02F 1/13 101 ,  B05C 13/02 ,  B05D 3/06 102 Z ,  B05D 7/24 301 P ,  H01L 21/68 B

F-Term (28)：

2H088EA02 ,  2H088FA03 ,  2H088FA04 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA20 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088KA02 ,  2H088MA17 ,  2H088MA20 ,  4D075AC06 ,  4D075AC82 ,  4D075AC88 ,  4D075BB46Z ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB11 ,  4D075DC19 ,  4D075DC22 ,  4D075EA21 ,  4D075EA35 ,  4F042AA06 ,  4F042BA06 ,  4F042DB41 ,  4F042DF09 ,  5F031CA05 ,  5F031GA08