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J-GLOBAL ID：200903012729864289

原子間力顕微鏡

Inventor： 村井 誠一郎
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992111776
Publication number (International publication number)：1993306925
Application date： Apr. 30, 1992
Publication date： Nov. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は、第1の目的とするところは、探針の変位を検出する変位測定系の構造を簡素化し、かつ高精度の測定を可能とした原子間力顕微鏡を提供するものである。【構成】探針4をカンチレバー20に保持し、このカンチレバーの変位を測定する変位測定手段22を具備し、上記カンチレバーの変位から原子間力を変位測定手段で測定し、かつこの原子間力を一定に保持しながら被測定物表面を走査することにより、被測定物表面の微細形状を検出する原子間力顕微鏡において、上記変位測定手段は、上記カンチレバー20背面を被覆する圧電薄膜22Aである。

Claim (excerpt)：

探針を保持するカンチレバーと、このカンチレバーの変位を測定する変位測定手段を具備し、上記カンチレバーの変位から原子間力を変位測定手段で測定し、かつこの原子間力を一定に保持しながら被測定物表面を走査することにより、被測定物表面の微細形状を検出する原子間力顕微鏡において、上記変位測定手段は、上記カンチレバーに直接備えられることを特徴とする原子間力顕微鏡。