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J-GLOBAL ID：200903012749151092

平行ビームの中心位置検出方法及び装置

Inventor： ステフアン・デツカー
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ
Agent (1)： 高矢 諭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991244946
Publication number (International publication number)：1993060603
Application date： Aug. 30, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 入射角が一定の平行ビームの中心位置を高速で且つ正確に測定する。【構成】 入射角が一定の平行ビームをスプリットミラー30で複数の経路に分岐し、分岐した各ビームを、円筒レンズ36、38で互いに異なる方向にそれぞれ集束して1次元化する。1次元位置センサ40、42で、1次元化されたビームの中心位置をそれぞれ検出し、各検出結果に基づいて、平行ビームの2次元的な中心位置を検出する。

Claim (excerpt)：

入射角が一定の平行ビームを複数の経路に分岐し、分岐した各ビームを、互いに異なる方向にそれぞれ集束して一次元化し、一次元化されたビームの中心位置をそれぞれ検出し、各検出結果に基づいて、平行ビームの2次元的な中心位置を検出することを特徴とする平行ビームの中心位置検出方法。