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J-GLOBAL ID:200903012755193651

帯域濾波器のパターン形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 井桁 貞一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992321079
Publication number (International publication number):1994177690
Application date: Dec. 01, 1992
Publication date: Jun. 24, 1994
Summary:
【要約】【目的】 帯域濾波器のパターン形成方法に関し、特性チェックの容易なパターン形成方法を提供することを目的とする。【構成】 圧電性を有する結晶基板上に櫛歯状をした複数の電極指を交互に組合せて形成される駆動電極の両側に、反射電極を備えて構成される共振子を、直列または並列に回路接続してパターン形成される表面弾性波帯域濾波器において、前記共振子パターンが形成されていない結晶基板の周辺領域に、帯域濾波器の種類に依存せずにプローブパッドを複数個位置決めしてプローブパッドと対応する振動電極の入出力端子とを結ぶ配線パターンを形成しておき、検査用端子として使用することを特徴として帯域濾波器のパターン形成方法を構成する。
Claim (excerpt):
圧電性を有する結晶基板上に櫛歯状をした複数の電極指を交互に組合せて形成される駆動電極の両側に、反射電極を備えて構成される共振子を、直列または並列に回路接続してパターン形成される表面弾性波帯域濾波器において、前記共振子パターンが形成されていない前記結晶基板の周辺領域に、前記帯域濾波器の種類に依存せずにプローブパッドを複数個位置決めして該プローブパッドと対応する振動電極の入出力端子とを結ぶ配線パターンを形成しておき、検査用端子として使用することを特徴とする帯域濾波器のパターン形成方法。
IPC (2):
H03H 3/08 ,  H03H 9/25
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
  • 特開平4-196808
  • 特開平3-293808
  • 特開昭63-219216
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