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J-GLOBAL ID：200903012806456814

研磨装置

Inventor： 茂木 克己 ,  遠藤 修
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994290224
Publication number (International publication number)：1996150558
Application date： Nov. 24, 1994
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 研磨装置に係り、ウェーハ等の研磨ワークの簡易かつ確実な脱着、研磨作業の自動化等を図る。【構成】 ヘッド3と研磨盤4とを具備するとともに、ヘッド3が、研磨ワーク2の背面2d全面に亙って密着させられる弾性材料よりなる吸着体11と、その背面11aを支持する保持キャリア9と、研磨ワーク2の外周縁2aを半径方向外方から支持する支持リング10とを具備し、吸着体11および保持キャリア9を貫通して吸着面11bに開口し研磨ワーク2によって閉鎖される複数の圧力調整孔12が、研磨ワーク2の外周縁2a近傍に周方向に均等に配設され、その圧力調整孔12に圧力調整手段17が接続されており、吸着体11に生じる圧力分布を均等なものとするとともに、研磨ワーク2の吸着面11bからの剥離を僅かな高圧状態で迅速に実施する。

Claim (excerpt)：

円盤状の研磨ワークを支持するヘッドと、該ヘッドとの間に相対移動させられる研磨面を有する研磨盤とを具備し、前記研磨面に研磨ワークを圧接させた状態で、研磨ワークと研磨面とを摺動させることにより研磨ワークの一表面を研磨する研磨装置であって、前記ヘッドが、前記研磨ワークの背面全面に亙って密着させられる弾性材料よりなる吸着体と、該吸着体の背面を支持する保持キャリアと、吸着体に密着させられた研磨ワークの外周縁を半径方向外方から支持する支持リングとを具備するとともに、前記吸着体および保持キャリアを貫通して吸着体の吸着面に開口し研磨ワークによって閉鎖される複数の圧力調整孔が、研磨ワークの外周縁近傍に周方向に均等に配設され、該圧力調整孔に、該圧力調整孔内の圧力を変化させる圧力調整手段が接続されていることを特徴とする研磨装置。

IPC (3)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304