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J-GLOBAL ID：200903012808178080
走査プローブ顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青木 健二 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997323199
Publication number (International publication number)：1999160333
Application date： Nov. 25, 1997
Publication date： Jun. 18, 1999
Summary：
【要約】【課題】試料のより高分解能の磁気力像を簡単にかつ確実に得る。【解決手段】第1および第2スイッチ19,20がともに実線位置に設定されると、誤差増幅器13が、F/V変換器12の出力と誤差増幅器13の第1参照電圧とのずれを一定に保つように出力し、この出力によりFM検出法による試料の磁気力を含んだ凹凸像が得られる。第1および第2スイッチ19,20がともに破線位置に設定されると、誤差増幅器13が、RMS/DC変換器18の出力と誤差増幅器13の第2参照電圧とのずれを一定に保つように出力し、この出力によりスロープ検出法による試料3の磁気力を含まない凹凸像が得られる。そして、コンピュータ16でこれらの凹凸像の差分を算出し、この差分により試料の試料の高分解能の磁気力像が得られる。
Claim (excerpt)：
試料に対向して配置される探針と、この探針を支持するカンチレバーと、このカンチレバーを振動させる加振駆動手段と、この加振駆動手段に、前記カンチレバーをその固有振動数またはその近傍で振動させるとともに、カンチレバーの振動振幅を一定に保持するように加振電圧を発生する第1加振電圧発生手段と、前記カンチレバーの固有振動数またはその近傍で加振するように加振電圧を発生する第2加振電圧発生手段と、前記第1および第2加振電圧発生手段のいずれか一方を選択的に前記加振駆動手段に接続する第1スイッチ手段と、前記カンチレバーの振動周波数の変化をこの変化に対応した電圧に変換する周波数/電圧変換器と、前記カンチレバーの振幅の変化をこの変化に対応した電圧に変換する振幅/電圧変換器と、第1参照電圧および第2参照電圧が設定されており、前記周波数/電圧変換器の出力と前記第1参照電圧とのずれすなわち前記固有振動数を一定に保つようにしたときに第1出力を出力し、また前記振幅/電圧変換器の出力と前記第2参照電圧とのずれすなわち減衰した振幅を一定に保つようにしたときに第2出力を出力する誤差増幅器と、前記周波数/電圧変換器および前記振幅/電圧変換器のいずれか一方を選択的に前記誤差増幅器に接続する第2スイッチ手段と、前記誤差増幅器の出力に基づいて前記探針と前記試料との間の距離を一定に制御する探針-試料間距離制御手段と、前記誤差増幅器の前記第1出力および前記第2出力の差分を算出する演算手段とを備え、前記誤差増幅器の前記第1出力に基づいて前記試料の磁気力を含む凹凸像を得るとともに、前記誤差増幅器の前記第2出力に基づいて前記試料の磁気力を含まない凹凸像を得、更に前記演算手段の算出した前記差分に基づいて前記試料の磁気力像を得るようにしたことを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N 37/00 F
, G01N 37/00 H
, H01J 37/28 X
