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J-GLOBAL ID：200903012826236756

付着物検査装置および付着物検査方法

Inventor： 前田 清司 ,  田中 博司
Applicant, Patent owner： 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社 ,  三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993244844
Publication number (International publication number)：1995103863
Application date： Sep. 30, 1993
Publication date： Apr. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 部品表面評価を容易に短時間でかつ定量的に行なう。【構成】 この発明に基づく付着物検査装置は、部品1が載置されるステージ2と、部品1の表面にガスを吹付けるための吹付けノズル4と、この吹付けノズル4を通して部品1の表面に吹付けられたガスを捕集するための捕集吸引管3と、この捕集吸引管3に接続され、捕集吸引管3内に送込まれた付着物を含むガスに含まれる付着物の検査を行なうためのダストカウンタ5などの検査手段とを備えている。

Claim (excerpt)：

部品表面の付着物の検査を行なう付着物検査装置であって、部品が載置される主表面を有するステージと、前記ステージの主表面上に載置された前記部品表面にガスを吹付けるためのノズルと、前記ノズルを通して前記部品に吹付けられることによって前記部品表面の付着物を含んだ前記ガスを捕集するための捕集管路と、前記捕集管路に接続され、前記捕集管路に送込まれたガスに含まれる前記付着物の検査を行なう検査手段と、を備えた付着物検査装置。

IPC (4)：

G01N 1/02 ,  G01N 1/22 ,  G01N 15/00 ,  G01N 15/14