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J-GLOBAL ID:200903012828584760

エネルギ変換素子及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 大森 聡
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996234159
Publication number (International publication number):1998079531
Application date: Sep. 04, 1996
Publication date: Mar. 24, 1998
Summary:
【要約】【課題】 環境温度の変化を電気エネルギに変換できるエネルギ変換素子を得る。【解決手段】 所定の肉厚の枠状基板2上に薄膜3を被着して、薄膜3の中央に熱容量の極端に小さな薄膜メンブレン部3Aを形成する。薄膜3上には多数の薄膜熱電対61 、62 ・・・・6n が放射状に配設されて互いに直列接続されている。各薄膜熱電対6i (i=1〜n)は熱容量の小さな薄膜メンブレン部3A上と熱容量の大きな周囲の固定部3B上とに跨って設けられている。環境温度が変化したとき、薄膜メンブレン部3A及び固定部3B間に温度差が生じ、各薄膜熱電対6i の両端部間に、温度差に応じた熱起電力が発生する。これにより、環境温度の揺らぎを効率良く電気エネルギに変換できる。
Claim (excerpt):
環境温度の変化を電気エネルギに変換するエネルギ変換素子であって、熱容量の大きな高熱容量体と、熱容量の小さな低熱容量体と、前記高熱容量体及び低熱容量体間に跨って設けられ、環境温度変化によってこれら熱容量体間に生じる温度差に応じた熱起電力を発生する熱起電力発生体と、を備えたことを特徴とするエネルギ変換素子。
IPC (2):
H01L 35/32 ,  H02N 11/00
FI (2):
H01L 35/32 A ,  H02N 11/00 A

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