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J-GLOBAL ID：200903012845901671
光走査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991243785
Publication number (International publication number)：1993083487
Application date： Sep. 24, 1991
Publication date： Apr. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】小型且つ高精度な光走査装置を提供すること。【構成】光源としてのレーザ装置11からの光を偏向出射して被写体としてのバーコード17を走査する光偏向出射器15と、上記バーコード17からの反射光を検出する光検出器21とを、マイクロマシーニングによって同一のシリコン基板22上に一体的に形成する。
Claim (excerpt)：
光源と、該光源からの光を偏向出射して被写体を走査する光偏向出射部と、上記被写体からの反射光を検出する光検出器とを具備する光走査装置に於いて、少なくとも前記光偏向出射部と光検出器とを同一の半導体基板上に一体的に形成してなることを特徴とする光走査装置。
IPC (3)：
H04N 1/04 104
, G02B 26/10 101
, G06K 7/10
