Pat

J-GLOBAL ID：200903012852629227

処理液温度の制御方法及びその制御装置

Inventor： 野村 聡
Applicant, Patent owner： 株式会社日阪製作所
Agent (1)： 江原 省吾 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992168063
Publication number (International publication number)：1994012132
Application date： Jun. 26, 1992
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 予め設定された所定の処理レサイプへの追従性を向上させ、短時間で最適な温度制御を実現することにある。【構成】 処理容器(1)の被処理物(2)を、循環する処理液により処理するに際し、熱交換器(5)への蒸気又は冷却水の供給量を調整しながら処理液温度を制御する場合、処理液の実際温度を検出する第1のセンサ(9)と、外部の気温を検出する第2のセンサ(10)と、蒸気弁(4)及び冷却水弁(6)から供給する蒸気温度及び冷却水温度を検出する第3及び第4のセンサ(13)(14)と、それらセンサの検知出力を含むデータの入力に基づいて、蒸気弁(4)又は冷却水弁(6)を開閉する制御信号を出力する制御部(7)とを具備し、液量及び温度傾斜係数に基づいて、比例帯を変化させるか、或いは、外部の気温及び蒸気温度又は冷却水温度に基づいて、気温についてはオフセット量を、蒸気温度又は冷却水温度については比例帯をそれぞれ変化させるかの少なくともいずれか一方を行いながら、蒸気又は冷却水の供給量を比例制御する。

Claim (excerpt)：

処理容器に収容された被処理物を、循環する処理液により処理するに際し、上記処理容器に付設された熱交換器への蒸気又は冷却水の供給量を調整しながら処理容器内での処理液温度を制御する方法において、上記処理容器内の液量及び温度傾斜係数に基づいて、比例帯を変化させながら、蒸気又は冷却水の供給量を比例制御するようにしたことを特徴とする処理液温度の制御方法。

IPC (9)：

G05D 23/00 ,  B08B 3/10 ,  D06B 17/00 ,  D06B 23/22 ,  G05B 11/36 ,  G05B 11/36 503 ,  G05B 11/36 505 ,  G05B 11/36 507 ,  G05D 23/19

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭60-164807
  
• 特開昭59-085518
  
• 特開昭58-178123
  
• 特開昭57-114915