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J-GLOBAL ID：200903012864303580
微細ミラーアレイのミラー駆動方法及びその装置
Inventor：
,
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996030796
Publication number (International publication number)：1996248334
Application date： Feb. 19, 1996
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：
【要約】【課題】 微細ミラーアレイのミラー駆動方法及びその装置を提供すること。【解決手段】 複数のミラ-部材1が基板上にヒンジによりそれぞれ回転可能に支持されており、その基板の下にはミラ-部材1に対して磁界を形成する永久磁石3が取り付けられ、各ミラ-部材1の裏面にはコイル素子2,2 ́が形成される。映像信号に応じてミラ-部材1が選択され、選択されたミラ-部材1のコイル素子2,2 ́に電流が印加される。選択されたミラ-部材1はその電流が印加されたコイル素子2,2 ́と磁界の間に作用する電磁気力により回転される。したがって、そのミラ-部材アレイに照射される光が映像に変調される。このような電磁気力によるミラ-駆動方法の適用される微細ミラ-アレイは、簡単な構造で量産可能であり、特に安定した駆動特性を有する。
Claim (excerpt)：
それぞれ回転可能に支持されており、その裏面にコイルが取り付けられている複数のミラ-部材を有する微細ミラ-アレイのミラ-駆動方法において、前記複数のミラ-部材に対して磁界を加える第1の段階と、映像信号に応じて前記複数のミラ-部材を選択し、選択されたミラ-部材に電流を流す第2の段階とを含めて、前記磁界と電流の間に作用する電磁気力により各ミラ-部材が傾くように駆動することを特徴とする微細ミラ-アレイのミラ-駆動方法。
IPC (3)：
G02B 26/08
, G09F 9/37 303
, G09F 19/16
G02B 26/08 E
, G09F 9/37 303
, G09F 19/16
Cited by examiner (6)
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