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J-GLOBAL ID：200903012869737660

界面熱抵抗測定方法

Inventor： 馬場 哲也 ,  竹歳 尚之
Applicant, Patent owner： 工業技術院長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999295627
Publication number (International publication number)：2001116711
Application date： Oct. 18, 1999
Publication date： Apr. 27, 2001
Summary：

【要約】【課題】 積層板間または薄膜間の界面熱抵抗をパルス加熱法によって正確に測定する。【解決手段】 第1物質のみから成る単層試料と、第2物質のみからなる単層試料とを積層した2層試料の積層板間または薄膜間の界面部分の界面熱抵抗を測定するに際して、第1物質のみからなる単層試料の表面をパルス加熱した後の温度応答と、第2物質のみからなる単層試料の表面をパルス加熱した後の温度応答を観測してそれぞれの熱拡散時間を実測する。次いで、第1物質の層1と第2物質の層2の積層により構成される2層試料において、当該2層試料の表面をパルス加熱し、そのときの裏面の温度応答を実測する。この実測結果と、2層試料間の界面熱抵抗が無いと仮定して温度応答を計算した結果との差を求めると、2層試料間の界面熱抵抗を求めることができる。

Claim (excerpt)：

第1物質よりなる層1と第2物質よりなる層2の積層により構成される2層試料間の界面熱抵抗を、2層試料の表面をパルス加熱し2層試料の裏面の温度応答を観測することにより測定することを特徴とする界面熱抵抗測定方法。

F-Term (14)：

2G040AB08 ,  2G040AB10 ,  2G040BA08 ,  2G040BA26 ,  2G040CA02 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040DA05 ,  2G040DA13 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G040EC02 ,  2G040HA08 ,  2G040HA16