Pat

J-GLOBAL ID：200903012875712105

硬質炭素膜

Inventor： 織田 一彦 ,  湯塩 泰久 ,  瀬戸山 誠 ,  吉岡 剛
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993142101
Publication number (International publication number)：1994212429
Application date： Jun. 14, 1993
Publication date： Aug. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 優れた耐摩耗性と高い導電性とを併せ持つ硬質炭素膜を提供する。【構成】 炭素、または炭素と水素を主成分とし、炭素、水素以外の1種類以上の不純物元素を含有する非晶質の硬質炭素膜において、室温での電気抵抗率が1×10-6Ω・cm以上1×102 Ω・cm以下である。

Claim (excerpt)：

炭素、または炭素と水素を主成分とし、炭素、水素以外の1種類以上の不純物元素を含有する非晶質の硬質炭素膜において、室温での電気抵抗率が1×10-6Ω・cm以上1×102 Ω・cm以下であることを特徴とする、硬質炭素膜。

IPC (6)：

C23C 16/26 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/32 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/48 ,  C30B 29/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭63-079972
  
• 特開昭62-116750
  
• 特開昭62-116749
  
• 特開昭56-166370
  
• 特開昭62-157602