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J-GLOBAL ID：200903012886944083
アルカリ現像性樹脂組成物及びこれを用いた硬化膜
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
成瀬 勝夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996056397
Publication number (International publication number)：1997241339
Application date： Mar. 13, 1996
Publication date： Sep. 16, 1997
Summary：
【要約】【課題】 フルオレンヒドロキシプロピルアクリレート樹脂と多塩基性カルボン酸又はその無水物とを反応させる際にゲル状物の発生を可及的に抑制し、これによって欠陥のない良好な塗膜やカラーフィルター等を作製することができるアルカリ現像性樹脂組成物を提供する。また、このようなアルカリ現像性樹脂組成物を用いた光学材料用コーティング材料やカラーフィルター用材料、更にはこれらの材料を硬化させて得られるコーティング膜やカラーフィルター、更には絶縁膜材料を提供する。【解決手段】 未反応エポキシ基がエポキシ当量で1万以上であるフルオレンヒドロキシプロピルアクリレート樹脂と多塩基性カルボン酸又はその無水物とを反応させて得られた反応生成物であって、その30重量%溶液を5インチシリコンウエハ上に塗布した際に0.5μm以上の粒子数が1万未満であるアルカリ現像性樹脂組成物であり、また、このようなアルカリ現像性樹脂組成物と重合開始剤とを必須成分として含むコーティング材料やカラーフィルター用材料、あるいは絶縁膜材料である。
Claim (excerpt)：
下記一般式(1)【化1】(但し、式中Rは水素原子又はメチル基の何れかを示し、nは0〜20の整数である)で表されるアクリレート樹脂であって、未反応エポキシ基がエポキシ当量で1万以上であるアクリレート樹脂と多塩基性カルボン酸又はその無水物とを反応させて得られた反応生成物であって、その30重量%溶液を5インチシリコンウエハ上に塗布した際に0.5μm以上の粒子数が1万未満であることを特徴とするアルカリ現像性樹脂組成物。
IPC (8)：
C08F299/02 MRV
, C09D163/10 PDY
, G02B 5/20
, G03F 7/027 515
, H01L 23/29
, H01L 23/31
, C08G 59/17 NHG
, H05K 3/46
C08F299/02 MRV
, C09D163/10 PDY
, G02B 5/20
, G03F 7/027 515
, C08G 59/17 NHG
, H05K 3/46 T
, H01L 23/30
