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J-GLOBAL ID:200903012905386224

疵検査用照明装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 矢葺 知之 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001006867
Publication number (International publication number):2002214144
Application date: Jan. 15, 2001
Publication date: Jul. 31, 2002
Summary:
【要約】【課題】 高いSN比により鏡面部と粗面部の混在する地合であっても疵を検出することができる疵検査用照明装置を提供する。【解決手段】 帯状または板状の被検査材1の表面に線状の照明パターン3を形成する疵検査用照明装置において、光源10と、多数の光ファイバ23が整列し、光源10からの入射光線を揃えて出射する光ファイバユニット21と、前記光ファイバユニット21の出射側に配置された拡散フィルタ30と、前記光ファイバ23の整列方向にレンズ母線が平行となるようにして拡散フィルタ30の出射側に配置された円柱レンズ42からなる集光ユニット41とを備えいる。
Claim (excerpt):
帯状または板状の被検査材の表面に線状の照明パターンを形成する疵検査用照明装置において、光源と、多数の光ファイバが整列し、光源からの入射光線を揃えて出射する光ファイバユニットと、前記光ファイバユニットの出射側に配置された拡散フィルタと、前記光ファイバの整列方向にレンズ母線が平行となるようにして拡散フィルタの出射側に配置された円柱レンズからなる集光ユニットとを備えたことを特徴とする疵検査用照明装置。
IPC (3):
G01N 21/84 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/892
FI (3):
G01N 21/84 E ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/892 B
F-Term (21):
2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065GG03 ,  2F065HH02 ,  2F065HH05 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL03 ,  2F065LL08 ,  2F065LL49 ,  2F065UU01 ,  2G051AA37 ,  2G051AB02 ,  2G051BB11 ,  2G051BB17 ,  2G051BB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA06

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