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J-GLOBAL ID:200903012924159735

磁気光学式欠陥検出方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 杉信 興
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992071994
Publication number (International publication number):1993273322
Application date: Mar. 30, 1992
Publication date: Oct. 22, 1993
Summary:
【要約】【目的】 鋼板の製造過程において生じる鋼板表面の微小欠陥を精度良く自動的に検出する。【構成】 磁気光学効果素子、照明装置、偏光板、イメージセンサを検査対象に追従させる装置、検査対象を交流磁化するコイル、画像信号を処理する極性反転機、加算機、位相器、疵弁別器、表示装置を用いて鋼板表面の微小欠陥を検出する。【効果】 ローコストで検出精度の高い疵検出装置を実現させることが可能であり、厚板工程をはじめ鋼板製造過程での多くの適用範囲が考えられる。
Claim (excerpt):
強磁性の被検査材に磁界を印加し、その欠陥部に生じた漏洩磁界を、被探傷材と相対移動する磁気光学効果素子に透過させた直線偏光の偏光面回転に基づいて検出する磁気光学式欠陥検出方法において、光源を帯状拡散偏光光源とし、印加磁界を交流とし、磁界の正負の極性変化過程の中で、磁化の反転に同期して、磁気光学効果素子の像を撮像し、順次極性反転毎に撮像した画像信号の符号を反転記憶し、今回と前回の信号の加算結果より欠陥検出を行う事を特徴とする磁気光学式欠陥検出方法。
IPC (3):
G01R 33/12 ,  G01N 27/83 ,  G01R 33/032
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開平3-123150

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