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J-GLOBAL ID：200903012938236775

ガラス状カーボン膜を有するCVD成膜用シリカガラス治具及びその製造方法

Inventor： 剣持 克彦 ,  ディートマ・ヘルマン
Applicant, Patent owner： 信越石英株式会社 ,  ヘラウス・クワルツグラス・ゲーエムベーハー
Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995260925
Publication number (International publication number)：1997077534
Application date： Sep. 14, 1995
Publication date： Mar. 25, 1997
Summary：

【要約】【目的】本発明は、CVD成膜工程において成膜物質が堆積しても治具の損傷や堆積物による半導体素子の汚染の少ないシリカガラス治具及びその製造方法を提供すること。【構成】表面にガラス状カーボン被膜を有するシリカガラス治具において、表面粗さが中心線平均粗さ(Ra)で0.03〜0.30μmのシリカガラス治具をガラス状カーボンで被覆したことを特徴とするCVD成膜用シリカガラス治具、及び化学的処理により治具の表面粗さを形成し、それにガラス状カーボン原料を塗布したのち炭化するCVD成膜用シリカガラス治具の製造方法。

Claim (excerpt)：

表面にガラス状カーボン膜を有するシリカガラス治具において、表面粗さが中心線平均粗さ(Ra)で0.03〜0.30μmのシリカガラス基材をガラス状カーボンで被覆した治具であることを特徴とするCVD成膜用シリカガラス治具。

IPC (3)：

C03C 17/22 ,  C03C 15/00 ,  H01L 21/205

FI (3)：

C03C 17/22 Z ,  C03C 15/00 E ,  H01L 21/205

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-209781
  
• 特開平3-187954
  
• 特開平4-209781
  
• 特開平3-187954