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J-GLOBAL ID：200903012938471090

ワイヤボンダ

Inventor： 大橋 ▲ゆう▼二 ,  角谷 修
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992132907
Publication number (International publication number)：1993326603
Application date： May. 26, 1992
Publication date： Dec. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ワイヤボンダにおいて、イナーシャを減少させ、推力アップおよびボンディングの高速化を図り、ボンディングのインデックスを短縮させ、単位時間当りの生産量を増大させ、印加電流の立ち上がりを良好にし、応答性を向上させる。【構成】 ワイヤボンダにおいて、支点1を中心に揺動可能なボンディングアーム2のモータ取付部5の両側にボイスコイルモータ7a,7bを2個対向させて取り付け、対称構造とした。

Claim (excerpt)：

支点を中心として揺動可能なボンディングアームのモータ取付部の片側にボイスコイルモータを2個またはそれ以上の複数個取り付けたことを特徴とするワイヤボンダ。