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J-GLOBAL ID：200903012954210530

成型品評価装置及び成型品評価方法

Inventor： 横地 良也
Applicant, Patent owner： 日本ビクター株式会社
Agent (1)： 二瓶 正敬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999045541
Publication number (International publication number)：2000241129
Application date： Feb. 23, 1999
Publication date： Sep. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】 特に光学部品や光記録媒体のような光透過性材料からなる成型品の成型精度を評価する評価用パターンであつて、簡易に形成できる評価用パターンを用いるとともに、煩雑な条件出しなどを必要とすること無く、また簡易な装置を用いながらも成型品の成型深さ(厚さ方向)の成型精度を高精度に評価することが可能な成型品評価装置及び成型品評価方法を提供する。【解決手段】 成型品101に温度収縮などに起因した成型深さの誤差あるいは歪みが生じたような場合には、その誤差あるいは歪みが、回折格子100の成型深さの成型誤差として残ることになる。この誤差に対応して回折格子100の透過光に特有の回折現象が生じる。そこで、このような回折現象に基づいて回折格子100の部分における成型深さの成型誤差を計測することができる。

Claim (excerpt)：

2値以上の多値の位相型ホログラムを形成する回折格子が作り込まれた光透過性材料の成型品の前記回折格子に対して可干渉性の光を照射する光照射手段と、前記回折格子によって生じた次数の異なる複数の回折光を受光し、それらの強度を測定する回折光受光測定手段と、前記次数の異なる回折光どうしの強度比を演算し、あらかじめ定められた設計上の理想的な回折格子によって前記光の照射の際に生じることが理論的に計算される回折光どうしの強度比の理論値と比較して、前記回折格子の位相差を求め、前記位相差に対応した少なくとも前記成型品の前記回折格子が形成されている部分における成型深さを求める回折光強度分析手段とを、有する成型品評価装置。

IPC (5)：

G01B 11/22 ,  G01N 21/88 ,  G02B 5/18 ,  G03H 1/18 ,  B29C 45/00

FI (5)：

G01B 11/22 G ,  G02B 5/18 ,  G03H 1/18 ,  B29C 45/00 ,  G01N 21/88 650

F-Term (31)：

2F065AA02 ,  2F065AA25 ,  2F065BB03 ,  2F065BB22 ,  2F065CC03 ,  2F065FF48 ,  2F065FF54 ,  2F065GG04 ,  2F065HH01 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL42 ,  2F065QQ16 ,  2G051AA71 ,  2G051AA73 ,  2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051BA10 ,  2G051CA03 ,  2G051CB06 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2H049AA25 ,  2H049AA40 ,  2K008AA00 ,  2K008FF17 ,  2K008GG05 ,  4F206AH79 ,  4F206JA07 ,  4F206JP01