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J-GLOBAL ID：200903012971911488

遊離砥粒研磨スラリー組成物

Inventor： 神田 恵 ,  大木 繁雄
Applicant, Patent owner： 山口精研工業株式会社
Agent (1)： 中島 三千雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000319391
Publication number (International publication number)：2002121542
Application date： Oct. 19, 2000
Publication date： Apr. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 非水系分散媒を用い、かかる分散媒中に添加された研磨材を、効果的に、均一に且つ単一粒子にまで遊離、分散せしめることによって、スクラッチ等の表面欠陥の発生が有利に抑制乃至は防止された、高品位な研磨面を実現すると共に、優れた研磨速度を実現し得る遊離砥粒研磨スラリー組成物を提供すること。【解決手段】 非水系分散媒として鉱油を用い、この炭化水素油に、脂肪酸、含窒素系界面活性剤及び高分子カルボン酸系界面活性剤を添加、含有せしめると共に、更に、研磨材を添加して、均一に且つ単一粒子にまで遊離、分散せしめた。

Claim (excerpt)：

非水系分散媒として炭化水素油を用い、この炭化水素油に、脂肪酸、含窒素系界面活性剤及び高分子カルボン酸系界面活性剤を添加、含有せしめると共に、更に、研磨材を添加して、均一に且つ単一粒子にまで遊離、分散せしめてなることを特徴とする遊離砥粒研磨スラリー組成物。

IPC (3)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00

FI (3)：

C09K 3/14 550 Z ,  C09K 3/14 550 F ,  B24B 37/00 H

F-Term (7)：

3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA16