基板搬送装置及び基板処理装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：井上俊夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000133215
Publication number (International publication number)：2001319957
Application date： May. 02, 2000
Publication date： Nov. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】基板処理装置に設けられる基板搬送装置のアームを薄型化し、この薄型化により生じる振動及びアームのたわみを抑え、しかも基板の高速搬送を行うことができるようにすること。【解決手段】基板の搬送手段に薄型アームを設け、このアームの全体に複数の永久磁石からなる第1の磁石を設ける。アームは待機位置とユニット内の受け渡し先との間を進退できるように構成されており、このアームの移動領域の上下を挟むように対向する棒状の第2の磁石を設ける。上側の第2の磁石と第1の磁石、第1の磁石と下側の第2の磁石は夫々同じ力で反発し、前記アームは、上下に形成される磁石の反発力により挟まれて概ね水平姿勢に保持される。そして基板の受け渡し時には磁力で水平姿勢を保ちながら前進し、受け渡し先の例えば加熱ユニット内へ基板の受け渡しを行う。

Claim (excerpt)：

移動自在な基体と、基板を支持し、当該基板を受け渡す前進位置と基板を搬送する後退位置との間で進退自在に前記基体に設けられたア-ムと、このア-ムに設けられた第1の磁石と、後退位置にあるア-ムを挟むように互いに対向して前記基体に設けられ、ア-ムを水平姿勢に維持するために前記第1の磁石に対して、各々いずれも反発力が働くかまたは各々いずれも吸引力が働くように構成された第2の磁石と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 , B65G 49/06 , B65G 49/07 , H01L 21/027

FI (4)：

H01L 21/68 A , B65G 49/06 A , B65G 49/07 E , H01L 21/30 502 J

F-Term (32)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA01 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA01 , 5F031GA02 , 5F031GA04 , 5F031GA06 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031HA08 , 5F031HA33 , 5F031HA37 , 5F031HA38 , 5F031MA02 , 5F031MA03 , 5F031MA24 , 5F031MA26 , 5F031MA30 , 5F031NA02 , 5F031NA04 , 5F031NA17 , 5F046CD01 , 5F046CD03 , 5F046CD06 , 5F046KA04 , 5F046KA10

Return to Previous Page